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光蚀刻和化学蚀刻有什么区别
光蚀刻和化学蚀刻有什么区别
2025-05-22 00:08:56
推荐回答（1个）
回答（1）：
光蚀刻是指使掩膜后的暴露部分通过光化学反应清除掉,往往后续还用到其它方式进步腐蚀.
化学蚀刻则是指化学反应对暴露部分进行腐蚀清除.
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