历史上，偃师县曾分为偃师、缑氏二县。明洪武元年（1368年）省缑氏入偃师后，至1955年，偃师县疆域基本未变。据民国23年（1934年）《偃师县风土志略》载，偃师“东西广七十里，南北袤八十里。其中腰狭处，则东西仅三十里。……东邻巩县至黑石关三十五里，抵巩县城三十里；西邻洛阳故城三十里，抵洛阳县城四十里；西南至风门六十五里，抵登封县城五十里；北至周家山三十里，抵孟津县三十里；东北至沟脑三十里，至巩县城三十里；西北至叩马村二十五里，抵孟津县城二十里；东南至轘辕关五十五里，抵登封县城三十五里；西南至水泉口六十五里，抵伊川县七十里。”全县面积为741平方公里。
1955年原洛阳县的部分区乡划归偃师后，偃师疆域扩大，总面积943.13平方公里，约占河南省总面积16.7万平方公里的0.56%。
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